7 空氣凈化和空調通風設計

　　7.1 一般規(guī)定

　　7.1.1 潔凈廠房內各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應根據(jù)電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。

　　7.1.2 氣流流型應根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。

　　7.1.3 有下列情況之一者，凈化空調系統(tǒng)宜分開設置：

　　1 運行班次或使用時間不同;

　　2 生產過程中散發(fā)的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響;

　　3 對溫、濕度控制要求差別大;

　　4 潔凈室(區(qū))內工藝設備發(fā)熱相差懸殊;

　　5 凈化空調系統(tǒng)與一般空調系統(tǒng);

　　6 系統(tǒng)風量過大的凈化空調系統(tǒng)。

　　7.1.4 潔凈室(區(qū))內的溫度、相對濕度應符合本規(guī)范第3.2.3條的規(guī)定。

　　7.1.5 潔凈室(區(qū))內的新鮮空氣量應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定。

　　7.1.6 潔凈室(區(qū))與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規(guī)定：

　　1 各潔凈室(區(qū))與周圍空間的靜壓差應按生產工藝要求確定;

　　2 不同等級的潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應大于等于5Pa;

　　3 潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應大于5Pa;

　　4 潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應大于10Pa。

　　7.1.7 潔凈室(區(qū))維持靜壓差值所需的壓差風量，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。

　　7.1.8 送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定。

　　7.1.9 非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產工藝要求設置值班送風，并應進行凈化處理。

　　7.1.10 潔凈室(區(qū))的清掃方式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內的吸塵系統(tǒng)管道應暗敷。

　　7.2 氣流流型和送風量

　　7.2.1 氣流流型的設計，應符合下列要求：

　　1 氣流流型應滿足產品生產工藝和空氣潔凈度等級的要求。空氣潔凈度等級為1～5級時，應采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流;

　　2 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應滿足生產工藝和工作人員健康的要求。

　　7.2.2 潔凈室的送風量，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定。

　　7.2.3 潔凈室(區(qū))所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風量和氣流流型，宜按表7.2.3計算。

　　7.3 凈化空調系統(tǒng)

　　7.3.1 潔凈廠房中的凈化空調系統(tǒng)可分為集中式凈化空調系統(tǒng)和分散式凈化空調系統(tǒng)。

　　凈化空調系統(tǒng)的型式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統(tǒng)，

　　7.3.2 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風方式。

　　7.3.3 凈化空調系統(tǒng)新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。

　　7.3.4 多套凈化空調系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調系統(tǒng)的新風，應集中處理。

　　7.3.5 凈化空調系統(tǒng)設計應合理利用回風，但下列情況不得回風：

　　1 在生產過程中向車間內散發(fā)的有害物質超過規(guī)定時;

　　2 采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時;

　　3 對其他工序有危害或不能避免交叉污染時。

　　7.3.6 凈化空調系統(tǒng)需設置電加熱時，應選用不產塵的電加熱器，且應布置在高效過濾器的上風側，并應采取安全保護措施。

　　7.3.7 凈化空調系統(tǒng)的電加濕器應采取安全保護措施。

　　7.3.8 根據(jù)氣象條件，存在冷凍可能的地區(qū)，新風系統(tǒng)應采取防凍保護措施。

　　7.4 空氣凈化設備

　　7.4.1 空氣過濾器的選用和布置應符合下列要求：

　　1 空氣過濾器應根據(jù)空氣潔凈度等級選用;

　　2 空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量;

　　3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段;

　　4 高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統(tǒng)的末端;超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統(tǒng)的末端;

　　5 同一凈化空調系統(tǒng)內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近;

　　6 同一凈化空調系統(tǒng)內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近;

　　7 對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調系統(tǒng)中應根據(jù)環(huán)境條件設置化學過濾器或其他去除裝置;

　　8 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。

　　7.4.2 風機過濾器機組的設置應符合下列要求：

　　1 應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用;

　　2 應按潔凈室(區(qū))內生產工藝對氣流流型的要求布置;

　　3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規(guī)范的規(guī)定;

　　4 送風量應能調節(jié);

　　5 應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。

　　7.4.3 層流罩的設置應符合下列要求：

　　1 潔凈室(區(qū))內等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩;

　　2 層流罩的形式和進風方式應根據(jù)生產工藝或設備需要選用;

　　3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規(guī)范的規(guī)定;

　　4 安裝方式不應影響生產操作。

　　7.4.4 微環(huán)境裝置的設置應符合下列要求：

　　1 當生產工藝或設備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求，且所控區(qū)域不大時，宜采用微環(huán)境裝置;

　　2 微環(huán)境裝置宜與生產工藝設備配套;

　　3 在不影響工藝操作的前提下，應具有可靠的密閉性，內外表面應平整、光滑;

　　4 圍擋構造、材料的選用應方便生產操作。

　　7.4.5 干表冷器的設置應符合下列要求：

　　1 安裝位置、外形尺寸應根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定;

　　2 迎面風速、結構形式應根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定;

　　3 冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室(區(qū))內空氣的露點溫度;

　　4 應設置排水設施。

　　7.4.6 凈化空調系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要求：

　　1 應有良好的氣密性，漏風率不得大于1%;

　　2 整體結構應有足夠的強度和剛度，內表面應平整、光滑，外表面不應結露;

　　3 布置應整齊，并應便于運行和維修;當多套空氣處理機組為同一潔凈室(區(qū))服務時，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組;

　　4 送風機宜采取變頻調速措施。送風機可按凈化空調系統(tǒng)的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統(tǒng)總阻力時，中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值;

　　5 應設置排水裝置。

　　7.5 采暖、通風

　　7.5.1 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室(區(qū))不應采用散熱器采暖。

　　7.5.2 潔凈廠房內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備，應設置局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。局部排風系統(tǒng)單獨設置的要求，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定。

　　7.5.3 潔凈室(區(qū))的排風系統(tǒng)設計，應符合下列要求：

　　1 應防止室外氣流倒灌;

　　2 含有易燃、易爆物質的局部排風系統(tǒng)應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施;

　　3 局部排風系統(tǒng)排出的有害氣體，當其有害物質濃度超過排放標準時，應采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應滿足國家現(xiàn)行有關排放標準的規(guī)定;

　　4 對含有水蒸氣或凝結物質的排風系統(tǒng)，應設置坡度及排放口;

　　5 排風介質中含有劇毒物質時，應設置備用排風機和處理設備，并應設置應急電源;

　　6 排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時，應設置備用排風機，并應設置應急電源;

　　7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內爆炸危險氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計;

　　8 排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，應設置消除靜電的接地裝置。

　　7.5.4 對排風系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質的排氣管路，應保持相對于路由區(qū)域一定的負壓值。

　　7.5.5 凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產輔助房間，應采取通風措施。

　　7.5.6 潔凈室(區(qū))事故排風系統(tǒng)的設計，應符合下列規(guī)定：

　　1 事故排風區(qū)域的換氣次數(shù)不應小于12次/h;

　　2 應設置自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設置在潔凈室(區(qū))和潔凈室(區(qū))外便于操作的地點;

　　3 應設置應急電源。

　　7.6 排 煙

　　7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊，應設置機械排煙設施。

　　7.6.2 潔凈廠房排煙設施的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定。當同一防火分區(qū)的丙類潔凈室(區(qū))人員密度小于0.02人/m2，且安全疏散距離小于80m時，潔凈室(區(qū))可不設機械排煙設施。

　　7.6.3 機械排煙系統(tǒng)宜與通風、凈化空調系統(tǒng)分開設置;當合用時，應采取防火安全措施，并應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定。

　　7.6.4 機械排煙系統(tǒng)的風量、排煙口位置、風機的設置，應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定。

　　7.7 風管、附件

　　7.7.1 凈化空調系統(tǒng)的新風吸入管應設置防倒灌裝置;送、回風管宜設置調節(jié)閥。

　　7.7.2 凈化空調系統(tǒng)風管的防火閥的設置，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定。

　　含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道，不得設置熔片式防火閥。

　　7.7.3 凈化空調系統(tǒng)的風管、配件、過濾器以及密封材料等，應根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。

　　7.7.4 潔凈室(區(qū))內排風系統(tǒng)的風管、閥門、附件的制作材料和涂料，應根據(jù)排除氣體的物理化學性質及其所處的空氣環(huán)境條件確定，并不得與所輸送介質發(fā)生化學反應或引起安全事故的發(fā)生。

　　7.7.5 凈化空調系統(tǒng)的送、回風總管上，應采取消聲措施，并應滿足潔凈室(區(qū))內噪聲控制的要求。潔凈室(區(qū))排風系統(tǒng)，應采取消聲措施，并應滿足室內外噪聲標準的要求。

　　7.7.6 在集中設置的空氣過濾器的前后，應設置測壓孔或指針式壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，應設置風量測定孔。

　　7.7.7 風管附件及輔助材料的防火性能，應符合下列規(guī)定：

　　1 凈化空調系統(tǒng)、排風系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質的風管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作;

　　2 排煙系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作;

　　3 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。