D.1.1 潔凈室(區(qū))應(yīng)定期進(jìn)行性能測(cè)試。以認(rèn)證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。

　　D.1.2 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試認(rèn)證工作，應(yīng)由專(zhuān)門(mén)檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)，并應(yīng)提交檢測(cè)報(bào)告。

　　D.1.3 測(cè)試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測(cè)試儀表應(yīng)在標(biāo)定證書(shū)有效使用期內(nèi)。

　　D.1.4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)，其性能測(cè)試和認(rèn)證宜為靜態(tài)或動(dòng)態(tài)。

　　附錄D 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試和認(rèn)證

　　D.1 通 則

　　D.1.1 潔凈室(區(qū))應(yīng)定期進(jìn)行性能測(cè)試。以認(rèn)證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。

　　D.1.2 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試認(rèn)證工作，應(yīng)由專(zhuān)門(mén)檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)，并應(yīng)提交檢測(cè)報(bào)告。

　　D.1.3 測(cè)試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測(cè)試儀表應(yīng)在標(biāo)定證書(shū)有效使用期內(nèi)。

　　D.1.4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)，其性能測(cè)試和認(rèn)證宜為靜態(tài)或動(dòng)態(tài)。

　　D.2 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試要求

　　D.2.1 確認(rèn)潔凈室(區(qū))符合本規(guī)范要求，應(yīng)進(jìn)行下列基本測(cè)試：

　　1 空氣潔凈度等級(jí)測(cè)定;

　　2 靜壓差;

　　3 風(fēng)速或風(fēng)量。

　　D.2.2 空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量的認(rèn)證測(cè)試的最長(zhǎng)時(shí)間間隔應(yīng)符合表D.2.2—1和表D.2.2—2的規(guī)定。

　　注1 若潔凈室(區(qū))運(yùn)行中已對(duì)粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)，且其測(cè)試值均符合本規(guī)范要求時(shí)，認(rèn)證的測(cè)試時(shí)間間隔可延長(zhǎng)。具體間隔時(shí)間，可與認(rèn)證單位洽商。

　　2 空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證，可在靜態(tài)或動(dòng)態(tài)檢測(cè)，洽商確定，

　　3 風(fēng)量測(cè)定，應(yīng)采用風(fēng)速計(jì)在風(fēng)口或風(fēng)管測(cè)定。

　　D.2.3 電子工業(yè)潔凈室(區(qū))的認(rèn)證測(cè)試，除空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試外，還應(yīng)根據(jù)需要進(jìn)行表D.2.3規(guī)定的洽商選擇測(cè)試項(xiàng)目。

　　D.3 潔凈室測(cè)試方法

　　D.3.1 風(fēng)量或風(fēng)速測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 對(duì)于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應(yīng)取離高效過(guò)濾器300mm垂直于氣流的截面作為測(cè)試平面。應(yīng)將測(cè)試平面分成相等的柵格，每個(gè)柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過(guò)濾器尺寸，測(cè)點(diǎn)應(yīng)在柵格中心或不應(yīng)少于3點(diǎn)。每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、最大值和最小值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

　　2 對(duì)于非單向流潔凈室，每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。

　　3 在每個(gè)末端空氣過(guò)濾器或散流器處，應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測(cè)量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個(gè)測(cè)試位置的測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于3點(diǎn)。

　　D.3.2 靜壓差測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。

　　2 儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。

　　3 潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí)，應(yīng)從最里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。

　　D.3.3 已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 儀器應(yīng)使用采樣量大于1 l/mm的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。

　　2 應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1μm(0.5μm)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×107P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。

　　D.3.4 潔凈度的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 應(yīng)使用采樣量大于1 l/min光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書(shū)。

　　2 最少采樣點(diǎn)應(yīng)按下式計(jì)算：

　　NL=A0.5 (D.3.4—1)

　　式中 NL——最少采樣點(diǎn);

　　A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

　　采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個(gè)面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。

　　3 每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)按下式確定：

　　4 當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。

　　D.3.5 氣流流型的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 氣流流型的檢測(cè)，宜采用氣流目測(cè)法。

　　2 氣流目測(cè)法有示蹤線(xiàn)法、示蹤劑注入法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線(xiàn)法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。

　　3 示蹤線(xiàn)法應(yīng)為通過(guò)觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線(xiàn)或單根尼龍纖維等，直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。

　　4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。

　　5 應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測(cè)，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。

　　6 氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。

　　D.3.6 溫度、相對(duì)濕度的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 溫度、相對(duì)濕度的檢測(cè)應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測(cè)試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運(yùn)行1.0h后進(jìn)行。

　　2 相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格最大面積應(yīng)為100m2，應(yīng)每格一個(gè)測(cè)點(diǎn)，但每個(gè)房間不應(yīng)少于2個(gè)測(cè)點(diǎn)。

　　3 檢測(cè)用探測(cè)器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度，且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。

　　4 檢測(cè)時(shí)間應(yīng)至少1.0h，并應(yīng)至少6mm進(jìn)行1次(30s)讀數(shù)、記錄。

　　D.3.7 噪聲檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。

　　2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1～1.5m，距墻應(yīng)大于3m;檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn)。

　　D.3.8 照度測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。

　　2 照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。

　　3 照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25m2設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn)。

　　D.3.9 微振檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場(chǎng)所的檢測(cè)，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動(dòng)值要求的微振測(cè)試分析系統(tǒng)進(jìn)行分階段測(cè)試。

　　2 微振檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進(jìn)行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計(jì)的要求設(shè)置，一般檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。

　　3 微振控制的檢測(cè)應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行?，F(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)數(shù)據(jù)等應(yīng)經(jīng)過(guò)科學(xué)分析后，提供微振控制檢測(cè)報(bào)告，應(yīng)包括檢測(cè)數(shù)據(jù)的分析、結(jié)論等。

　　D.3.10 自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè)，宜用于非單向流潔凈室。

　　2 自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè)，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)應(yīng)符合下列要求。

　　1)以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機(jī)，定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來(lái)的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間(t)。

　　2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機(jī)，方法同上。

　　3 由初始濃度(N0)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n)，可得到計(jì)算自?xún)魰r(shí)間(t0)，與實(shí)測(cè)自?xún)魰r(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比，如果t≤1. 2t0，為合格。

　　4 自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。

　　D.3.11 密閉性檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 密閉性檢測(cè)或稱(chēng)抑制滲漏測(cè)試，是測(cè)定潔凈室(區(qū))有無(wú)受污染的空氣從周?chē)哂邢嗤虿幌嗤o壓的較低潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測(cè)一般用于ISO 1～5級(jí)潔凈室(區(qū))。

　　2 采用粒子計(jì)數(shù)器法檢測(cè)潔凈室(區(qū))的密閉性，檢測(cè)時(shí)應(yīng)先測(cè)量緊靠被測(cè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104，并大于等于3. 5×106個(gè)/m3待測(cè)粒徑的粒子。

　　3 潔凈室(區(qū))的施工接縫，包括對(duì)墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線(xiàn)、燈具等的接縫的滲漏檢測(cè)，應(yīng)在被測(cè)部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm/s。

　　潔凈室敞開(kāi)門(mén)處的滲漏檢測(cè)，應(yīng)在距離門(mén)0.3～3.0m處測(cè)定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。

　　記錄并報(bào)告比測(cè)得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。

　　D.4 認(rèn) 證

　　D.4.1 潔凈廠房性能測(cè)試認(rèn)證前，應(yīng)由業(yè)主與認(rèn)證單位簽訂協(xié)議書(shū)，協(xié)議書(shū)中應(yīng)明確檢測(cè)項(xiàng)目、測(cè)點(diǎn)位置及數(shù)量、測(cè)量要求和限值等，如測(cè)量空氣懸浮粒子濃度采樣點(diǎn)數(shù)、每次最少的空氣采樣量、采樣時(shí)間、每個(gè)采樣點(diǎn)的測(cè)量次數(shù)、測(cè)量時(shí)間間隔、被計(jì)數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值等。

　　D.4.2 按協(xié)議書(shū)規(guī)定及本附錄第D.2節(jié)的要求，以及本附錄第D.3節(jié)的方法進(jìn)行測(cè)試，若測(cè)試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)，說(shuō)明該潔凈室(區(qū))符合規(guī)定要求。若測(cè)試結(jié)果超過(guò)規(guī)定的限值，說(shuō)明該潔凈室(區(qū))不符合要求，應(yīng)進(jìn)行改進(jìn)，在完成改進(jìn)工作之后，應(yīng)進(jìn)行再認(rèn)證。

　　D.4.3 每次性能測(cè)試或再認(rèn)證測(cè)試應(yīng)作記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報(bào)告。測(cè)試報(bào)告應(yīng)包括下列內(nèi)容：

　　1 測(cè)試機(jī)構(gòu)的名稱(chēng)、地址;

　　2 測(cè)試日期和測(cè)試者簽名;

　　3 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)出版日期;

　　4 被測(cè)試潔凈室(區(qū))的地址、測(cè)試項(xiàng)目、測(cè)點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖;

　　5 被測(cè)潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑、被測(cè)潔凈室(區(qū))所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、全部采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度;

　　6 測(cè)量用儀器的編號(hào)和標(biāo)定證書(shū);測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中特殊情況，

　　7 測(cè)試結(jié)果包括所有測(cè)試項(xiàng)目的記錄數(shù)據(jù)、分析結(jié)論等;

　　8 對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理;

　　9 注明上次的測(cè)試日期，

　　10 設(shè)施的測(cè)試檔案可作為下次檢測(cè)計(jì)劃的依據(jù)。

　　D.4.4 測(cè)試機(jī)構(gòu)應(yīng)提交潔凈室檢驗(yàn)證書(shū)、再檢驗(yàn)證書(shū)。

　　D.5 記 錄

　　D.5.1 記錄保存應(yīng)符合質(zhì)量控制程序的要求。

　　D.5.2 應(yīng)按常規(guī)或定期的測(cè)試方法和儀表檢測(cè)，將初始觀察記錄、計(jì)算、數(shù)據(jù)處理和最終報(bào)告，以及測(cè)試評(píng)價(jià)、報(bào)告人員簽名和日期進(jìn)行存檔。